De Karman Vortex Flow Meters van KOFLOC zijn ontwikkeld voor nauwkeurige en betrouwbare meting van gas- en vloeistofstromen. Dankzij het Karman-vortexprincipe bieden deze meters een robuuste, onderhoudsarme oplossing die uitstekend geschikt is voor de procesindustrie, laboratoria en productieomgevingen.
| Partner: | Kofloc |
|---|---|
| Categorie: | Gassen en vloeistoffen – meten en regelen |
De KOFLOC FML-300 is een karman vortex flowmeter voor vloeistoffen met geintegreerde temperatuurcorrectie. Waar standaard vortexmeters onnauwkeurig worden bij temperatuurwisselingen, compenseert de FML-300 dit automatisch via een ingebouwde temperatuursensor. Het resultaat is een stabiele, herhaalbare meting over het volledige temperatuurbereik van 15 tot 60 graden Celsius.
De wetted parts zijn vervaardigd uit New PFA, compatibel met vrijwel alle agressieve chemicalien inclusief HF, HCl, H2SO4 en etsvloeistoffen. De FML-300 is daarmee bij uitstek geschikt voor semiconductor productie, chemische procesinstallaties en high purity laboratoriumomgevingen.
Niet zeker welk model bij uw toepassing past? Vraag direct technisch advies aan.
De FML-300 serie is in 2024 bekroond met de Kyoto Prefecture Small and Medium Enterprise Technology Innovation Award en de 35th Small/Mid Enterprise Promotion Award in de categorie Nieuw Product. Twee onafhankelijke erkenningen voor een meetprincipe dat een concreet probleem oplost dat bij standaard vortexmeters al jaren bestaat.
Standaard Karman vortex flowmeters meten de frequentie van wervelingen achter een obstakelelement. Die frequentie is proportioneel aan de stroomsnelheid, maar de viskositeit van vloeistoffen verandert met de temperatuur. Het gevolg: nauwkeurigheidsfouten die bij temperatuurwisselingen kunnen oplopen tot meerdere procenten.
De FML-300 lost dit op met een derde sensor in de meetkamer: een temperatuursensor direct in het stromingspad. Via een ingebouwde correctietabel past de meter de uitkomst continu aan op basis van de actuele vloeistoftemperatuur. De meting blijft nauwkeurig van 15 tot 60 graden Celsius, ook in systemen met variabele procestemperatuur.
Nauwkeurigheid FML-301 tot FML-305: plus of min 2,0% F.S. bij 25 graden Celsius
Nauwkeurigheid FML-306: plus of min 3,0% F.S. bij 25 graden Celsius
Reproduceerbaarheid alle modellen: plus of min 0,5% F.S.
Temperatuurnauwkeurigheid: plus of min 2 graden Celsius, plus of min 0,15 x delta T graden Celsius
De vloeistofcontacterende delen van de FML-300 zijn volledig vervaardigd uit New PFA van Daikin (AP-201SH/AP-230SH) en Mitsui Chemours (451HP-J). Dit zijn dezelfde fluorharsgraden die worden toegepast in semiconductor productielijnen wereldwijd.
New PFA combineert uitstekende chemische bestendigheid, warmtebestendigheid en weerbestendigheid. Dankzij het O-ring vrije ontwerp zijn er geen elastomeren die kunnen degraderen bij blootstelling aan agressieve media.
Compatibele vloeistoffen (volledig compatibel):
| Vloeistof | Concentratie |
|---|---|
| Ultrapuur water | 100% |
| Waterstofperoxide | 30% |
| Zoutzuur | 35% |
| Fluorwaterstofzuur | 49% |
| Salpeterzuur | 70% |
| Ammoniakwater | 28% |
| Etsvloeistof (HPM) | zie spec |
| TMAH | zie spec |
| Zwavelzuur | 98% |
| Natriumhydroxide | zie spec |
| Ozonwater | 10 vol% |
De compatibiliteitslijst is indicatief. Afhankelijk van concentratie en temperatuur adviseert Inacom altijd op basis van uw specifieke toepassing.
De FML-300 is 35% smaller dan zijn voorganger. Dit is specifiek ontworpen voor installaties waarbij meerdere flowmeters naast elkaar worden gemonteerd op een enkel apparaat of in een rack opstelling. Het compacte formaat elimineert interferentie tussen aangrenzende units en reduceert de totale installatieruimte significant.
De FML-300 serie bestaat uit zes standaardmodellen die samen een flowbereik van 0,3 tot 250 liter per minuut dekken. Elk model is geoptimaliseerd voor zijn bereik en voorzien van een oblonge stroomkanaaldoorsnede die stabiele en nauwkeurige meting bij lage flows mogelijk maakt.
| Model | Aansluiting | Flowbereik | Maximale druk |
|---|---|---|---|
| FML-301 | 3/8 inch tube | 0,3 tot 2,5 L/min | 1 MPa(G) bij 25 graden Celsius |
| FML-302 | 3/8 inch tube | 0,4 tot 4,0 L/min | 1 MPa(G) bij 25 graden Celsius |
| FML-303 | 1/2 inch tube | 2,0 tot 16 L/min | 1 MPa(G) bij 25 graden Celsius |
| FML-304 | 3/4 inch tube | 5,0 tot 50 L/min | 0,75 MPa(G) bij 25 graden Celsius |
| FML-305 | 1 inch tube | 10 tot 100 L/min | 0,75 MPa(G) bij 25 graden Celsius |
| FML-306 | 1,5 inch tube | 25 tot 250 L/min | 0,65 MPa(G) bij 25 graden Celsius |
Nauwkeurigheid gegarandeerd bij vloeistoftemperatuur 15 tot 60 graden Celsius. Vloeistoftemperatuurbereik: 0 tot 90 graden Celsius (geen bevriezing of koken).
De FML-300 is uitgevoerd met een beschermingsgraad equivalent aan IP65 conform IEC normen. Dit betekent volledige stofafdichting en bescherming tegen directe waterstralen vanuit elke richting. De meter is daarmee geschikt voor gebruik in vochtige procesomgevingen, bij reinigingsprocessen en in buitenopstellingen.
| Specificatie | FML-301 | FML-302 | FML-303 | FML-304 | FML-305 | FML-306 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Aansluiting | 3/8 inch tube | 3/8 inch tube | 1/2 inch tube | 3/4 inch tube | 1 inch tube | 1,5 inch tube |
| Flowbereik | 0,3 tot 2,5 L/min | 0,4 tot 4,0 L/min | 2,0 tot 16 L/min | 5,0 tot 50 L/min | 10 tot 100 L/min | 25 tot 250 L/min |
| Meetmedium | Water, puur water, chemische vloeistoffen | |||||
| Nauwkeurigheid | plus of min 2% F.S. (25°C) | plus of min 3% F.S. (25°C) | ||||
| Temperatuurnauwkeurigheid | plus of min 2°C, plus of min 0,15 x deltaT°C (deltaT = omgevingstemperatuur min vloeistoftemperatuur) | |||||
| Reproduceerbaarheid | plus of min 0,5% F.S. | |||||
| Vloeistoftemperatuur | 0 tot 90°C (geen bevriezing of koken) | |||||
| Gegarandeerde nauwkeurigheidstemperatuur | Vloeistoftemperatuur 15 tot 60°C | |||||
| Max. bedrijfsdruk | 1 MPa(G) bij 25°C | 0,75 MPa(G) bij 25°C | 0,65 MPa(G) bij 25°C | |||
| Omgevingstemperatuur | 0 tot 50°C (geen bevriezing) | |||||
| Luchtvochtigheid | Max. 95% RH (geen condensatie) | |||||
| Opslagtemperatuur | min 10 tot 70°C (geen bevriezing) | |||||
| Beschermingsgraad | IP65 equivalent (spat en stofbestendig) | |||||
| Wetted parts materiaal | New PFA | |||||
| Voedingsspanning | 12 tot 24 VDC plus of min 10% | |||||
| Stroomverbruik zonder display | Max. 80 mA | |||||
| Stroomverbruik met display | Max. 140 mA | |||||
| Gewicht zonder display | 160 g of minder | 175 g of minder | 200 g of minder | |||
| Gewicht met display | 165 g of minder | 180 g of minder | 205 g of minder |
| Uitgang | Uitvoering | Specificatie |
|---|---|---|
| Flowuitgang | Met display | 4 tot 20 mA, toegestane belastingsweerstand bij 24 VDC: 250 tot 500 ohm, bij 12 VDC: max. 250 ohm |
| Flowuitgang | Met display | Pulsuitgang: 1 kHz bij F.S., duty cycle 50%, NPN open collector, max. DC 30V/80mA |
| Flowuitgang | Zonder display | 4 tot 20 mA, zelfde belastingsweerstanden als hierboven |
| Flowuitgang | Zonder display | Pulsuitgang: 1 kHz bij F.S., duty cycle 50%, NPN open collector, max. DC 30V/80mA. Accumulatie via pulsuitgang |
| Temperatuuruitgang | Met display | 1 tot 5 VDC (0 tot 100°C), externe belastingsweerstand minimaal 250 kohm |
| Temperatuuruitgang | Zonder display | 4 tot 20 mA (0 tot 100°C), toegestane belastingsweerstand bij 24 VDC: 250 tot 500 ohm, bij 12 VDC: max. 250 ohm |
| Alarmuitgang | Met display | 2 punten, NPN open collector, max. DC 30V/80mA |
| Digitale communicatie | Met display | RS-485, MODBUS protocol, RTU mode |
Wanneer een vloeistof langs een obstakel stroomt, ontstaan achter dat obstakel regelmatige, afwisselende wervels: de zogenoemde Karmanwervelstraat. De frequentie waarmee deze wervels worden gevormd is direct evenredig met de stroomsnelheid van de vloeistof.
De FML-300 detecteert deze wervelfrequentie met een piezo-elektrisch element in een oblonge stroomkanaaldoorsnede. Dit ontwerp biedt drie voordelen ten opzichte van ronde of ovale kanalen:
De meter heeft geen bewegende delen. Dit maakt de FML-300 vrijwel onderhoudsvrij en bijzonder geschikt voor continu gebruik in processen waar stilstand ongewenst is.
De nauwkeurigheid van de FML-300 is afhankelijk van een uniforme stroming bij de sensor. Om de invloed van turbulentie en pulsaties te minimaliseren gelden de volgende richtlijnen:
Instroom zijde (IN): aanbevolen rechte leidinglengte 10D (binnendiameter x 10) Uitstroom zijde (OUT): aanbevolen rechte leidinglengte 5D (binnendiameter x 5)
Praktijkmetingen met de FML-303 tonen aan dat bij een instroomlengte van 10D (ca. 1000 mm) de afwijking beperkt blijft tot circa 1% F.S. Bij kortere leidinglengten neemt de meetonzekerheid toe. Inacom adviseert u over de optimale installatie voor uw specifieke situatie.
De FML-300 is specifiek ontwikkeld en getest voor gebruik in semiconductor productieomgevingen. Toepassingen zijn onder meer:
[Hier afbeelding invoegen: slide 20 uit de PDF, schematisch overzicht wet cleaning proces met FML-300 in lijn]
Particle evaluatiedata (FML-304) toont aan dat het aantal deeltjes in de vloeistofstroom na aansluiting van de meter snel daalt tot achtergrondniveau. Metal/organic leaching evaluatie (uitgevoerd door Kinki Analysis Center, ref P21-6752-3Z1) bevestigt ultralage uitspoeling van metalen en organische stoffen.
De FML-300 is leverbaar met en zonder display. De display uitvoering biedt:
Zonder display zijn alle signalen beschikbaar via analoge en pulsuitgangen voor directe koppeling aan bestaande procesbesturing.
Ja. De wetted parts zijn volledig vervaardigd uit New PFA, een fluorharsmateriaal dat compatibel is met vrijwel alle chemicalien die worden gebruikt in semiconductor en chemische processen, waaronder HF, HCl, H2SO4, TMAH en etsvloeistoffen. Er zijn geen elastomeren of O-ringen in het vloeistofcontacterende deel.
Het kernverschil is de geintegreerde temperatuurcorrectie. Standaard vortexmeters meten de wervelfrequentie, maar compenseren niet voor de invloed van temperatuur op vloeistofviskositeit. De FML-300 meet continu de vloeistoftemperatuur en past de flowmeting automatisch aan via een fabriekskalibratietabel. Dit levert aanzienlijk hogere nauwkeurigheid op bij processen met variabele temperatuur.
De zes modellen dekken samen 0,3 tot 250 liter per minuut. FML-301 en FML-302 zijn voor lage flows (0,3 tot 4 L/min), FML-303 en FML-304 voor middenbereik (2 tot 50 L/min), FML-305 en FML-306 voor hogere flows (10 tot 250 L/min). Inacom adviseert u graag op basis van uw specifieke flowprofiel en procesvloeistof.
De aanbevolen rechte instroomlengte is 10D (binnendiameter x 10), uitstroomlengte is 5D. Bij een instroomlengte van circa 10D blijft de meetafwijking beperkt tot circa 1% F.S. Inacom kan u adviseren over de optimale installatie en eventuele correctiemogelijkheden bij afwijkende leidingconfiguraties.
Ja. De display uitvoering beschikt over RS-485 met MODBUS RTU protocol. Alle modellen leveren tevens analoge uitgang 4 tot 20 mA en pulsuitgang voor directe koppeling aan bestaande procesbesturing.
Ja. KOFLOC en Inacom leveren OEM uitvoeringen voor integratie in apparatuur. Neem contact op met onze technische afdeling voor OEM specificaties en prijzen.
De FML-300 heeft geen bewegende delen en vereist geen periodiek mechanisch onderhoud. Bij vervuiling van het meetkanaal volstaat spoeling met compatibele vloeistof. Voor semiconductor toepassingen is het kanaal eenvoudig te spoelen conform standaard cleanroom procedures.
