LPH UHP 8 flow switch

De LPH UHP 8 flow switch is een hoogwaardige, non-adjustable flow monitor die specifiek is ontwikkeld voor de meest veeleisende toepassingen in de halfgeleiderindustrie. Met een constructie van 316L Stainless Steel en een elektrolytisch gepolijste (EP) afwerking garandeert deze serie maximale zuiverheid en betrouwbaarheid bij het bewaken van kritische gasstromen.

Lees meer
Partner: ChemTec
Categorie: Gassen en vloeistoffen – meten en regelen
Wilt u meer weten over dit product? Neem contact op
Uitgebreide specificaties
  • Omschrijving
  • Bestanden
  • Partner

LPH UHP 8 Flow Switch: Superieure Zuiverheid voor de Chipindustrie

In de wereld van microchips en semi-conductors is elke vorm van contaminatie fataal voor het proces. De LPH UHP 8 flow switch biedt een compromisloze oplossing voor het bewaken van procesgassen. Dankzij het compacte formaat en het ontwerp zonder interne afdichtingen (No Seals), minimaliseert deze monitor het risico op deeltjesafgifte en lekkage.

Download Datasheet

Waarom de LPH UHP 8 serie integreren?

De LPH UHP 8 flow switch is de eerste keuze voor engineers die werken met ultra-hogezuivere gassen. De monitor bevestigt normale flowcondities en detecteert direct afwijkingen (High/Low flow). Belangrijke kenmerken zijn:

  • Semi-Conductor Gassen: Specifiek getest en gecertificeerd voor gebruik met hoogzuivere gassen.
  • Extreme Lekdichtheid: Elke unit wordt onderworpen aan een inboard helium lekcheck van 1 x 10(-9) atm ccHe/sec.
  • Snap Action Schakeling: De hermetisch gesloten reed-switch zorgt voor een directe en betrouwbare schakeling bij het bereiken van het schakelpunt.
  • Duurzaamheid: Vervaardigd uit 316L RVS voor maximale corrosiebestendigheid en een lange standtijd.

 

Werking en Procesintegratie

De werking van de LPH UHP 8 flow switch is gebaseerd op een magnetische zuiger die reageert op drukverschillen:

  1. Flow-detectie: Zodra de gasstroom toeneemt, overwint het drukverschil de weerstand van de zuiger.
  2. Schakeling: De magnetische zuiger activeert een reed-switch die veilig is ingekapseld in epoxy, buiten het mediumpad.
  3. Flow-capaciteit: Het unieke ontwerp staat toe dat grotere volumes gas worden doorgelaten dan het eigenlijke schakelpunt.

 

Technische Specificaties LPH UHP 8

Kenmerk Specificatie
Materiaal (Wetted Parts) 316L Stainless Steel
Interne Afwerking EP (Electropolished)
Nauwkeurigheid ± 10% van het schakelpunt
Herhaalbaarheid ± 1%
Maximale Werkdruk 206,8 barg (3000 PSIG)
Lekdichtheid (Inboard) 1 x 10(-9) atm ccHe/sec
Temperatuurbereik -40 °C tot +104 °C (-40 °F tot 220 °F)
Aansluiting In-line verticale montage

Engineering Support

De LPH UHP 8 flow switch vereist een verticale installatie voor een betrouwbare werking. Door de hermetische scheiding tussen het medium en de elektrische contacten is deze monitor uitermate veilig in gebruik met diverse procesgassen. Heeft u technische ondersteuning nodig bij de selectie van het juiste schakelpunt voor stikstof (Nitrogen) of andere specialistische gassen? Wij adviseren u graag op basis van de actuele flow-curves en systeemdrukken. U kunt ook de website van onze partner ChemTec bekijken voor meer informatie.

Ik wil meer informatie opvragen
  • Dit veld is bedoeld voor validatiedoeleinden en moet niet worden gewijzigd.
Liever telefonisch contact?
placeholder